国家/地区 中国(5) 韩国(3) 美国(3)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8) B32(3) H01(3)
C30(2)
IPC小类 C23C(8) B32B(3) C30B(2)
H01B(2) H01L(2)
IPC C23C028/00(8)
发明人
公开年 2015(4) 2014(3)
申请年 2014(8)
专利权人