| 国家/地区 | 中国(5) 韩国(3) 美国(3) |
| IPC部 |
C(8)
|
| IPC大类 |
C23(8)
B32(3)
H01(3)
C30(2) |
| IPC小类 |
C23C(8)
B32B(3)
C30B(2)
H01B(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C028/00(8)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2015(4) 2014(3) |
| 申请年 |
2014(8)
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| 专利权人 |
YOO H J, JUNG Y G, LEE S K
YOUN D H, CHOI C G, KIM J S, YU Y J, CHOI J S, CHOI H K
HONG R, SONG X, TAO C, ZHANG D, DING L
DONG J, FAN X, GUO X, LIU B, LI C, LIU Q
PARK H B, KIM H, YOON H W, PARK S M, LEE M Y, HO B P, HEE W Y, SUN M P, YONG L M, LEE M, PARK H, PARK S, YOON H
GU Z, LI Y, WU H, HANG Y
