国家/地区 韩国(9) 美国(5) 世界知识产权组织(4)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10) C01(8) H01(5)
B01(3) B05(2) B32(2)
B82(2)
IPC小类 C23C(10) C01B(8) H01B(4)
B01J(3) H01L(3) B05D(2)
B32B(2) B82Y(2)
IPC C23C016/26(10)
发明人 JEON S(3) LEE J(3) LEE K J(3)
CHOI I S(2) KIM S O(2) LEE D H(2)
OH S(2)
公开年 2012(3) 2013(3) 2015(2)
申请年 2011(3)  2013(3)  2012(2) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(10)