国家/地区 英国(5) 美国(3) 德国(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(4) C23(4) H01(3)
IPC小类 C01B(4) C23C(4) H01L(3)
IPC C01B032/186(4) C23C016/26(3) H01L021/02(3)
发明人 THOMAS S(6)
公开年 2022(6)
申请年 2021(4)  2022(2) 
专利权人 PARAGRAF LTD(5)