国家/地区 中国(2) 台湾(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 B82(5) C01(4) H01(4)
C23(2) G01(2)
IPC小类 B82Y(5) C01B(4) H01L(4)
C23C(2)
IPC B82Y010/00(5)
发明人
公开年 2022(5)
申请年 2021(2)  2022(2) 
专利权人