国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6) C30(3) C01(2)
H01(2)
IPC小类 C23C(6) C30B(3) C01B(2)
H01L(2)
IPC C23C014/30(6)
发明人 HU J(2) HU Y(2) LI P(2)
PAN M(2) PENG J(2) QIU W(2)
WANG L(2) ZHANG J(2)
公开年 2021(4) 2020(2)
申请年 2020(6)
专利权人 UNIV NAT DEF.(2)