国家/地区 美国(6) 中国(3) 韩国(3)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7) C23C(7) C25D(2)
C30B(2) H01L(2)
IPC C23C014/34(7)
发明人
公开年 2016(7)
申请年 2016(5)  2015(2) 
专利权人