国家/地区 美国(4) 日本(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 B23(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年
申请年
专利权人