国家/地区 | 美国(6) 中国(3) 日本(3) 台湾(2) |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B82(6)![]() |
IPC小类 |
B82Y(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2018(3) 2017(2) |
申请年 |
2017(6)![]() |
专利权人 |
KATAGIRI M, SAITO T, SAKAI T, MIYAZAKI H
LIU P, ZHAO W, WANG J, JIANG K, FAN S
HABERLE TAPIA P, ORELLANA GOMEZ C, HABERLE T P, ORELLANA G C, HAEBERLE TAPIA P, HAEBERLE T P
WANG H, CHEN L, HE L, XIE H, WANG X, XIE X