国家/地区 美国(6) 中国(3) 日本(3) 台湾(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 B82(6)
IPC小类 B82Y(6)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年 2018(3) 2017(2)
申请年 2017(6)
专利权人