国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6) C01(5) H01(4)
B01(2) B82(2)
IPC小类 C23C(6) C01B(5) H01L(3)
B01J(2) B82Y(2)
IPC C23C016/44(6)
发明人
公开年 2017(6)
申请年 2016(5) 
专利权人