国家/地区 韩国(6) 美国(3) 中国(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(4) B01J(2)
H01L(2)
IPC C23C016/26(6) C01B032/186(3) C23C016/02(3)
C01B031/02(2)
发明人 CHO K W(5) CHO K(4) BONG H(2)
LEE E(2) LEE H C(2) YOO M S(2)
公开年 2020(2)
申请年 2014(2)  2018(2)  2019(2) 
专利权人 CENT ADVANCED SOFT ELECTRONICS(6)