国家/地区 中国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 B32(7)
IPC小类 B32B(7)
IPC C23C016/26(4) B32B009/00(3) B32B038/10(3)
C01B032/186(3) B32B009/04(2) B32B015/01(2)
B32B015/20(2) B32B037/00(2) C01B031/04(2)
C01B032/194(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2017(7)
申请年 2016(6) 
专利权人