国家/地区 |
中国(7)![]() |
IPC部 |
B(7)![]() |
IPC大类 |
B32(7)![]() |
IPC小类 |
B32B(7)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)
B32B009/00(3)
B32B038/10(3)
C01B032/186(3) B32B009/04(2) B32B015/01(2) B32B015/20(2) B32B037/00(2) C01B031/04(2) C01B032/194(2) H01L029/16(2) |
发明人 | |
公开年 |
2017(7)![]() |
申请年 | 2016(6) |
专利权人 |
PARK H G, HEIGHT M, CHOI K, PARK H
XIONG D, CAO M, TAN Z, FAN G, LI Z, ZHANG D
YANG Y, YANG X, GUO H, JIANG W
JOHNSON B Y, LIU X, MAZUMDER P