国家/地区 美国(14)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(14)
IPC小类 C01B(14)
IPC C23C016/26(8) C01B032/186(6) H01L021/02(5)
B82Y030/00(4) C01B032/182(4) B82Y040/00(3)
C23C016/44(3) H01L029/16(3) C01B032/184(2)
C01B032/194(2) C23C014/06(2) C23C014/18(2)
C23C016/50(2) C23C016/513(2) C23C016/54(2)
发明人 AHN S J(2) AN S(2) BYUN K(2)
BYUN K E(2) KIM C(2) LEE C(2)
LEE C S(2) SHIN H(2) SHIN H J(2)
SHIN K(2) SHIN K W(2)
公开年 2020(9) 2019(3) 2021(2)
申请年 2019(14)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)

SHIN K, KIM C, YAMAMOTO K, LEE C, SONG H, LEE E, BYUN K, SHIN H, AN S, SHEN J, JIN C, SHAN B, LI C, SONG X, LI Y, BIAN Q, SHEN X, AN X, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, BYUN K E, SHIN H J, AHN S J