国家/地区 美国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C016/26(5) C01B032/186(3) C01B032/194(3)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/184(2)
C23C016/01(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
H01L029/786(2)
发明人 JANG B Z(2) LEE S(2) LIN Y(2)
ZHAMU A(2)
公开年 2019(8)
申请年 2018(4)  2019(3) 
专利权人 NANOTEK INST.(2)