国家/地区 |
美国(8)![]() |
IPC部 |
C(8)![]() |
IPC大类 |
C01(8)![]() |
IPC小类 |
C01B(8)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)
C01B032/186(3)
C01B032/194(3)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/184(2) C23C016/01(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2) H01L029/786(2) |
发明人 |
JANG B Z(2)
LEE S(2)
LIN Y(2)
ZHAMU A(2) |
公开年 |
2019(8)![]() |
申请年 | 2018(4) 2019(3) |
专利权人 | NANOTEK INST.(2) |
MENG F, LIN Y, LEE S, CHIU W Y, ZHAMU A, JANG B Z
SONG Y, UDDIN M S, PARK J, PARKJAEHYUN
HUNTER I W, SWAGER T M, JEON I, PARK G H, WANG P
MAAROUF A A, ELSAYED K A M
LIN Y, LEE S, JHONG Y, ZHAMU A, JANG B Z