国家/地区 世界知识产权组织(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC C23C016/26(7) C01B032/186(6) H01L021/205(3)
C01B032/18(2) C01B032/182(2) C01B032/194(2)
H01B001/04(2)
发明人 IFUKU R(2) MATSUMOTO T(2) RYOTA I(2)
TAKASHI M(2)
公开年 2020(9)
申请年 2019(7)  2020(2) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(2)