国家/地区 欧洲专利局(EPO)(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(5) C01B031/04(4) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) C01B031/02(2) C23C016/02(2)
C23C016/56(2) C23C028/00(2) C30B025/18(2)
发明人
公开年 2013(5)
申请年 2013(4) 
专利权人