国家/地区 世界知识产权组织(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5)
IPC C30B025/18(4) C23C016/26(3) C30B029/02(3)
C23C016/34(2) C30B025/02(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2016(2) 2017(2)
申请年 2016(5)
专利权人