国家/地区 美国(8)
IPC部 B(8)
IPC大类 B01(8)
IPC小类 B01J(8)
IPC C01B031/04(6) C23C016/26(6) C01B031/02(4)
B01J023/755(3) B82Y030/00(3) C23C016/01(3)
C23C016/02(3) H01L021/02(3) B01J019/08(2)
B01J021/04(2) B01J023/72(2) B82Y040/00(2)
C01B032/182(2) C01B032/186(2) C01B032/194(2)
发明人 BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2) SINTON S W(2)
SWETT J L(2)
公开年 2016(4) 2017(3)
申请年 2016(8)
专利权人 LOCKHEED MAR.(2)