国家/地区 |
中国(8)![]() |
IPC部 |
B(8)![]() |
IPC大类 |
B32(8)
C23(8)
C01(5)
H01(3) B82(2) G02(2) H05(2) |
IPC小类 |
B32B(8)![]() |
IPC |
C23C016/26(8)![]() |
发明人 | WANG Y(2) |
公开年 | 2013(5) 2014(2) |
申请年 |
2013(8)![]() |
专利权人 |
SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, ITO Y, SCHWAB M G S, MILLEN K
CUI L, LI Y, SU Y, WANG Y, ZHANG L
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
LI G, WANG Y, LEE K
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
REN Y, CHEN Z, ZHANG Y, ZENG F, MA H, DING P, CHEN H, XU H