国家/地区 世界知识产权组织(32)
IPC部 B(32)
IPC大类 B01(32)
IPC小类 C01B(32)
IPC C23C016/26(32)
发明人 BACSA R(2) BEDWORTH P V(2) CHOI K(2)
HEIGHT M(2) HEISE S E(2) HONG B(2)
HONG B H(2) JUNG M(2) MOON J(2)
PARK H(2) PARK H G(2) SERP P(2)
SINTON S W(2) SWETT J L(2) YOON J(2)
公开年 2013(7) 2012(6) 2014(5) 2021(4) 2017(3) 2018(2)
申请年 2012(8)  2011(4)  2014(4)  2020(4)  2013(3)  2016(3) 
专利权人 HANWHA TECHW.(4) SAMSUNG TECH.(4) CALIFORNIA I.(2) CENT NAT REC.(2)
HANWHA AEROS.(2) HEIQ MATERIA.(2) INST NAT POL.(2) KOREA ADV IN.(2)
LG ELECTRONI.(2) LOCKHEED MAR.(2) UNIV SUNGKYU.(2)