国家/地区 欧洲专利局(EPO)(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC B82Y040/00(5) B82Y030/00(4) C01B032/182(3)
C01B032/184(3) H01L029/16(3) C01B032/186(2)
C01B032/194(2) C23C016/26(2) H01B001/04(2)
H01B005/14(2) H01B013/00(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2018(6)
申请年 2017(5) 
专利权人

ACEITUNO BUENO R, MARTINEZ RUIZ J I, LUCCAS R F, LOPEZ FAGUNDEZ M F, MOMPEAN GARCIA F, GARCIA HERNANDEZ M D M, MARTIN GAGO J A, BUENO R, RUIZ J I, FAGUNDEZ M F, GARCIA F, HERNANDEZ M D M, GAGO J A