国家/地区 日本(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C04(7) C01(5) H01(4)
A61(2)
IPC小类 C04B(7)
IPC C01B032/194(3) C01B032/21(3) C04B035/14(3)
C01B032/158(2) C01B032/182(2) C01B032/914(2)
C04B035/56(2) C04B037/02(2) H01L023/36(2)
H01L023/373(2)
发明人 KAWAHITO M(2) KOMATSUYAMA S(2) ONODA S(2)
公开年 2021(3) 2022(3)
申请年 2021(7)
专利权人 MITSUBISHI M.(2) SAKURA SCI B.(2) YMK CO LTD(2)