国家/地区 |
中国(7)![]() |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C04(7)![]() |
IPC小类 |
C04B(7)![]() |
IPC |
C23C016/02(7)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2012(2) 2015(2) 2022(2) |
申请年 | |
专利权人 |
JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W
WANG S, CHI K, QIU Y, XU X, XU Z
VLASSIOUK I V, IVANOV I N, DATSKOS P G
BORRELLI N F, FEKETY C R, LIU X, SONG Z
DENG P, GUO H, LEI T, ZHANG Y, ZHANG K, ZHANG F