国家/地区 |
中国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C04(6)![]() |
IPC小类 |
C04B(6)![]() |
IPC | C23C018/12(2) |
发明人 | YANG X(2) |
公开年 |
2021(6)![]() |
申请年 | 2021(4) 2020(2) |
专利权人 |
XU M, ZHANG W, LU S, WANG Y, YANG X
ZHU J, HAN F, SHEN Q, ZHU Y, LUO H, GUO B, LIU Y
FANG Y, ZHANG X, LEI N, ZHU K
LU Y, YANG X, BI C, ZHANG J, LI D, NING T, SUN F, YANG Y, CAO B