国家/地区 韩国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C04(7)
IPC小类 C04B(7)
IPC C01B031/04(4) C01B032/182(3) C04B035/52(3)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/194(2)
C04B035/622(2) C04B041/00(2) C04B041/50(2)
C04B041/85(2) C04B041/87(2) C25D015/00(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人