国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C30(5) C23(3) H01(2)
IPC小类 C30B(5)
IPC C30B025/18(3) C30B028/14(2) C30B029/02(2)
C30B029/16(2) H01L021/02(2)
发明人 ZHANG J(5)
公开年 2022(5)
申请年 2021(3)  2022(2) 
专利权人 UNIV XIDIAN(3)