国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC C30B025/18(5) C23C016/26(3) C23C014/06(2)
C23C014/35(2) C23C016/02(2) C30B029/02(2)
C30B029/40(2) H01L021/02(2) H01L021/205(2)
发明人 ZHANG J(6)
公开年 2022(3)
申请年 2021(2) 
专利权人 UNIV XIDIAN(4)