国家/地区 美国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7) C01(6) H01(5)
C25(2) C30(2)
IPC小类 C23C(7) C01B(6) H01L(3)
C25D(2) C30B(2)
IPC C23C014/34(7)
发明人
公开年 2016(7)
申请年 2016(4)  2015(3) 
专利权人