国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) H01L(5) B82Y(3)
C01B(3) G03F(2) H01G(2)
IPC C23C016/04(6)
发明人 OEZYILMAZ B(2) OZYILMAZ B(2)
公开年 2014(3)
申请年 2013(4) 
专利权人 UNIV SINGAPO.(2)