国家/地区 世界知识产权组织(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) H01L(5) B82Y(4)
C01B(3) G03F(2) H01G(2)
H05K(2)
IPC C23C016/04(6)
发明人 OEZYILMAZ B(2) OZYILMAZ B(2)
公开年 2014(2) 2022(2)
申请年 2013(3) 
专利权人 UNIV SINGAPO.(2)