国家/地区 美国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9) G02(5) G01(4)
C23(3) H01(2)
IPC小类 C01B(9)
IPC C01B032/182(4) C01B032/184(3) C01B032/194(2)
C01B032/198(2) C23C016/26(2) G02F001/00(2)
H01L029/786(2)
发明人 PARK J(2) PARKJAEHYUN(2)
公开年 2018(3) 2019(3) 2020(3)
申请年 2018(9)
专利权人 KOREA INST S.(3) US SEC OF NA.(2)

KIM J Y, LEE J I, CHEON S H, CHO N S, CHO S, KIM Y H, KIM T, RYU H, AH C S, HWANG C, YEON K J, IK L J, HOON C S, SUNGCHO N, MOK C S, HAE K Y, YOUB K T, SEONG A C, SUN H C