国家/地区 德国(7)
IPC部 G(7)
IPC大类 B82(3) G03(3) G21(3)
H01(3) C01(2) G01(2)
G02(2)
IPC小类 B82Y(3) G21K(3) C01B(2)
G02B(2) G03G(2) H01L(2)
IPC B82Y099/00(2) C01B031/04(2)
发明人 FREIMANN R(2)
公开年 2013(4) 2014(2)
申请年 2012(7)
专利权人 XEROX CORP(2) ZEISS SMT GM.(2)