国家/地区 |
德国(7)![]() |
IPC部 |
G(7)![]() |
IPC大类 |
B82(3)
G03(3)
G21(3)
H01(3) C01(2) G01(2) G02(2) |
IPC小类 |
B82Y(3)
G21K(3)
C01B(2)
G02B(2) G03G(2) H01L(2) |
IPC | B82Y099/00(2) C01B031/04(2) |
发明人 | FREIMANN R(2) |
公开年 | 2013(4) 2014(2) |
申请年 |
2012(7)![]() |
专利权人 | XEROX CORP(2) ZEISS SMT GM.(2) |
QI Y, HU N, ZHANG Q, DOOLEY B M, QL Y, YU C, NUNG S H, QI Z, BRYNN
PAHLKE A, FOJT R, MIYAKAWA N
ELIAN K, RUHL G, THEUSS H, ESCHERPOEPPEL I, LUHEER G, THEUS H, ERIAN C
FREIMANN R, RUNDE D, VON BLANCKENHAGEN G
ROETKER M S, LOPEZ F J, TALLMANN K B, HERKO J H, MARTIN D W, GRIFFIN S J, KANUNGO M, TONG Y, TALLMAN K B