国家/地区 |
日本(8)![]() |
IPC部 |
B(8)![]() |
IPC大类 |
B05(8)![]() |
IPC小类 |
B05D(8)
C23C(8)
C01B(7)
B82Y(6) B32B(5) H01L(5) C30B(3) B01J(2) C01G(2) C25D(2) H01M(2) |
IPC |
C23C016/56(8)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2010(2) 2011(2) |
申请年 | 2009(2) 2010(2) |
专利权人 |
WANG W, GUO S, OZKAN C S, OZKAN M
CHOI B, LEE E, WHANG D, CHOI B L, LEE E K, WHANG D M, CHOE P, HWANG T
BAE S K, CHOI J, HONG B H, KANG J, KIM H K, KIM Y J, YAN J K
VEERASAMY V S, VEERASAMY V
BARATON L, COJOCARU C S, PRIBAT D, COJOCARU C
SUEMITSU M, KONNO A, MIYAMOTO Y, MAKI S, ASSEUSI G, YU M