国家/地区 美国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 B23(6)
IPC小类 C23C(6) B23K(4) C01B(4)
B01J(2) B82Y(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年
申请年
专利权人