国家/地区 日本(9)
IPC部 B(9)
IPC大类 B32(9)
IPC小类 B32B(9)
IPC B32B009/00(7) C01B031/02(7) C01B031/04(4)
C01B032/15(3) H01L029/06(3) B82Y030/00(2)
C01B032/18(2) C01B032/182(2) C01B032/186(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2015(6) 2014(2)
申请年 2014(9)
专利权人