国家/地区 美国(14)
IPC部 B(14)
IPC大类 C01(14)
IPC小类 C01B(14) C23C(14) B82Y(7)
B01J(5) H01L(5) B65H(2)
B82B(2) C30B(2)
IPC C23C016/46(14)
发明人 THOMAS S(2)
公开年 2018(3) 2012(2) 2014(2) 2015(2) 2016(2)
申请年 2017(4)  2013(3)  2014(2)  2015(2) 
专利权人