国家/地区 日本(6) 美国(4)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B031/02(5) H01L029/786(5) H01L021/336(4)
H01L029/06(4) B82Y040/00(2) H01B001/04(2)
H01L021/28(2) H01L029/16(2) H01L029/40(2)
发明人 OKAI M(6)
公开年 2010(2) 2011(2)
申请年 2010(4) 
专利权人 HITACHI LTD(6) OKAI M(3) HIROOKA M(2) WADA Y(2)