国家/地区 中国(3) 世界知识产权组织(3) 日本(2) 台湾(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C30B(6)
IPC C01B032/186(3) C23C016/26(3) C30B029/02(3)
C01B032/182(2) C23C016/02(2) C30B033/12(2)
H01L021/02(2) H01M004/62(2)
发明人
公开年 2022(4) 2023(2)
申请年 2022(6)
专利权人 TOKYO ELECTR.(2)