国家/地区 | 中国(3) 世界知识产权组织(3) 日本(2) 台湾(2) |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C30B(6)![]() |
IPC |
C01B032/186(3)
C23C016/26(3)
C30B029/02(3)
C01B032/182(2) C23C016/02(2) C30B033/12(2) H01L021/02(2) H01M004/62(2) |
发明人 | |
公开年 | 2022(4) 2023(2) |
申请年 |
2022(6)![]() |
专利权人 | TOKYO ELECTR.(2) |
ZHAO Y, YU X, LIU Z, NIE X, SONG Z, DENG J, HE X
TSUJIMOTO H, KOBUNE T, LI L, LEE L, KOBUNEDAKAKI
DIXON S, KAINTH J, JAGT R, GUINEY I, BADCOCK T J
DAIGLE J, BARRAY F, GUERFI A, FLEUTOT B, GARITTE E, KRACHKOVSKIY S, KOH K S