国家/地区 美国(11) 世界知识产权组织(6) 中国(5) 欧洲专利局(EPO)(5) 韩国(3) 澳大利亚(2) 加拿大(2)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(14)
IPC小类 C30B(14)
IPC C01B031/04(9) C30B029/02(9) C23C016/26(6)
C30B025/18(5) B82Y040/00(4) C01B032/182(4)
C01B032/184(4) B82Y030/00(3) C01B032/186(3)
C01B031/02(2) C01B032/194(2) C23C014/06(2)
C23C014/34(2) C23C016/02(2) C23C028/00(2)
发明人 MIWA T(2) MOMO J(2) NOMOTO K(2)
WANG H(2)
公开年 2016(14)
申请年 2015(7)  2016(5)  2014(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)