国家/地区 美国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C30B029/02(4) C01B032/186(3) C30B029/60(3)
C01B032/184(2) C23C016/02(2) C23C016/04(2)
C23C016/26(2) C30B001/02(2) C30B025/02(2)
C30B029/40(2)
发明人
公开年 2021(7)
申请年 2020(8)
专利权人