国家/地区 中国(8) 美国(4) 韩国(2)
IPC部 B(10)
IPC大类 B01(10)
IPC小类 B01J(10)
IPC C23C016/26(4) C01B032/186(3) C23C014/18(3)
C23C016/44(3) B01J023/50(2) B01J023/755(2)
B01J037/02(2) C01B032/182(2)
发明人 CHEN D(2) ZHU Y(2)
公开年 2018(7) 2017(3)
申请年 2017(10)
专利权人