国家/地区 中国(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C23(12)
IPC小类 C23C(10) B22F(3) C01B(2)
C04B(2) C23F(2) C30B(2)
H01L(2)
IPC C23C016/26(4) B22F001/02(2) C23C014/06(2)
C30B025/18(2)
发明人 ZHANG F(12)
公开年 2012(3) 2021(2) 2022(2) 2023(2)
申请年 2021(3)  2022(3)  2012(2) 
专利权人 UNIV XIDIAN(2)