国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6) C23C(6) H01L(5)
B82Y(4) B32B(2) C04B(2)
C30B(2) H05K(2)
IPC C01B021/064(6)
发明人
公开年
申请年
专利权人