国家/地区 法国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7) C23C(7) B82Y(5)
B01J(3) B05D(2) B32B(2)
C30B(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(7)
发明人 COJOCARU C(3) BACSA R(2) SERP P(2)
ZENASNI A(2)
公开年 2013(3) 2010(2)
申请年 2011(4) 
专利权人 CENT NAT REC.(5) ECOLE POLYTE.(3) CNRS CENT NA.(2) COMMISSARIAT.(2)
COMMISSARIAT.(2) INST NAT POL.(2)