国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) B32B(2) C01B(2)
H01L(2)
IPC C23C014/00(6)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2020(2) 
专利权人 EV GROUP THA.(2)