| 国家/地区 | 美国(10) 中国(7) 韩国(6) 世界知识产权组织(6) 欧洲专利局(EPO)(3) 加拿大(2) 德国(2) 日本(2) 台湾(2) |
| IPC部 |
C(14)
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| IPC大类 |
C23(14)
|
| IPC小类 |
C23C(14)
C01B(7)
B82Y(6)
H01L(6) H01G(4) B32B(3) C23F(3) H01M(3) C09D(2) C25D(2) H01B(2) H05H(2) H05K(2) |
| IPC |
C23C016/00(14)
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| 发明人 | WANG Y(2) |
| 公开年 | 2013(5) 2012(2) |
| 申请年 | 2013(4) 2012(3) 2020(2) 2022(2) |
| 专利权人 |
XIA Z, SUN C, WANG Y, HUANG S, DENG B, HAN C, YANG J
NAVEH D, STERN C, BENNAIM Y, ISMACH A, KAUFMAN T, BARRABI E, MENTOVICH E, ROTEM Y, GRIDISH Y
SHIM W, SIM Y, KIM J Y, MUN J H, HO J C, KIM S J
ZHANG D, LI J, SHI Z, LIU J
CHEN M, LIN Q, WANG Y, LIN C, LIN C F, CHEN M T, WANG Y Y
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
