国家/地区 美国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7) G01N(5) G01L(4)
B82Y(2) C01B(2) G02F(2)
H01L(2)
IPC C23C016/01(7)
发明人 LIPOMI D J(4) MERCOLA M(4) MOLOKANOVA E(4)
SAVTCHENKO A(4) ZARETSKI A(4)
公开年
申请年
专利权人 UNIV CALIFOR.(4)