国家/地区 美国(6) 韩国(5) 日本(3) 加拿大(2) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 新加坡(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 B01(7)
IPC小类 B01J(7)
IPC C23C016/26(7)
发明人 BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2) SINTON S W(2)
SWETT J L(2)
公开年 2016(4) 2017(3)
申请年 2016(7)
专利权人 LOCKHEED MAR.(2)