国家/地区 | 中国(3) 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)
C01B(3)
H01L(2)
|
IPC |
C23C016/32(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(5)![]() |
申请年 | 2021(4) |
专利权人 |
LEE C, KIM C, LEE E, BYUN K, KIM S, SHIN H, SHIN H J, BYUN K E, LEE C S, LI C, JIN C, LI Y, JIN S, SHEN X
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K
CHENG C, LI L, CHEN H, HUANG B
LIMKWANGHYUN, SHIN I C, LIM B J, CHO N C, PARK J G, LEE H, LEE J