国家/地区 中国(6) 美国(5) 韩国(4) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(9) B(4) H(4)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C23C(9) C01B(4) B32B(2)
B82Y(2) H01L(2)
IPC C23C028/00(9)
发明人
公开年 2013(5) 2014(3)
申请年 2013(9)
专利权人

ZURUTUZA E A, CENTENO P A, ALONSO R B, PESQUERA R A, ALONSO RODRIGUEZ B, CENTENO PEREZ A, ZURUTUZA ELORZA A, PESQUERA RODRIGUEZ A, AMAIA Z E, ALBA C P, BEATRIZ A R, AMAIA P R