国家/地区 中国(8) 美国(4) 世界知识产权组织(4) 印度(2)
IPC部 B(17)
IPC大类 C01(17)
IPC小类 C01B(17)
IPC C01B032/186(10) C23C016/26(10) B82Y030/00(8)
B82Y040/00(8) C01B032/184(4) C01B032/194(3)
B22F001/02(2) C23C016/02(2) C23C018/12(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2020(17)
申请年 2019(8)  2020(7)  2018(2) 
专利权人